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アイテム
液体原料シリコン系薄膜のレーザーアニールによる形成と結晶シリコン薄膜トランジスタへの応用
https://doi.org/10.34413/dr.01445
https://doi.org/10.34413/dr.014459e076e28-d0ad-489c-875d-388e90f2d89f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (5.8 MB)
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abstract (182.3 kB)
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| Item type | 学位論文（博士論文） / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-05-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 液体原料シリコン系薄膜のレーザーアニールによる形成と結晶シリコン薄膜トランジスタへの応用 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | エキタイ ゲンリョウ シリコンケイ ハクマク ノ レーザー アニール ニ ヨル ケイセイ ト ケッショウ シリコン ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | 薄膜トランジスタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | レーザーアニール | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | 結晶化 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | ゲート絶縁膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | シクロペンタシラン | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Formation of solution-derived Silicon Based Thin Film by Laser Annealing and Its Application to Crystalline Silicon Thin Film Transistors | |||||
| 著者 |
菱谷, 大輔
× 菱谷, 大輔 |
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| 書誌情報 |
発行日 2017-03-24 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2017-03-24 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第1445号 | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R013660 | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R013720 | |||||
