WEKO3
アイテム
Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices
https://doi.org/10.34413/dr.01783
https://doi.org/10.34413/dr.01783f235c1ce-b00a-49b1-a68b-2b29f8a3d5d0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (6.8 MB)
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abstract (108.7 kB)
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| Item type | 学位論文（博士論文） / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2023-05-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | crystalline silicon | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | low-temperature growth | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | thin-film transistor | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | poly-Si TFT | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | excimer laser | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | 結晶Siの低温成長とその薄膜トランジスタ、関連デバイスへの応用 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | ケッショウ Si ノ テイオン セイチョウ ト ソノ ハクマクトランジスタ カンレン デバイス エノ オウヨウ | |||||
| 著者 |
田邉, 浩
× 田邉, 浩 |
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| 書誌情報 |
発行日 2021-03-31 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Nara Institute of Science and Technology | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2021-03-31 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第1783号 | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R016730 | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R016776 | |||||
