WEKO3
アイテム
SiO2/SiC界面における窒素局所構造に関する研究
https://doi.org/10.34413/dr.01563
https://doi.org/10.34413/dr.01563b2868ba7-8977-40bb-96e8-68a2f7839ca1
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 学位論文(博士論文) / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2018-04-18 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | SiO2/SiC界面における窒素局所構造に関する研究 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | SiO2/SiC カイメン ニ オケル チッソ キョクショ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 界面 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 酸化膜 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 窒素 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | SiC | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.34413/dr.01563 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Investigation of Local Structures of Nitrogen atoms passivating SiO2/SiC interfaces | |||||
著者 |
森, 大輔
× 森, 大輔 |
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書誌情報 |
発行日 2018-03-23 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
学位名 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2018-03-23 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第1563号 | |||||
電子化ID | ||||||
電子化ID |