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アイテム
レーザーアニールによるシリコン・ゲルマニウム積層薄膜の同時結晶化に関する研究
https://doi.org/10.34413/dr.01214
https://doi.org/10.34413/dr.01214a6530761-d19e-4aa8-8a1a-2ba989de6bbd
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 学位論文(博士論文) / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2014-06-19 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | レーザーアニールによるシリコン・ゲルマニウム積層薄膜の同時結晶化に関する研究 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | レーザー アニール ニ ヨル シリコン ゲルマニウム セキソウ ハクマク ノ ドウジ ケッショウカ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 同時結晶化 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | レーザーアニール | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | シリコン | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | ゲルマニウム | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.34413/dr.01214 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Simultaneous Crystallization of Double-Layered Silicon and Germanium Films Formed by Laser Annealing | |||||
著者 |
山崎, 浩司
× 山崎, 浩司 |
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書誌情報 |
発行日 2014-03-24 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
学位名 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2014-03-24 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第1214号 | |||||
電子化ID | ||||||
電子化ID |