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無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析 : 平成19年度実績報告書
http://hdl.handle.net/10061/4867
http://hdl.handle.net/10061/4867481f691c-34a0-4928-a70b-fd9b5fc770ad
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (240.2 kB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2008-11-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析 : 平成19年度実績報告書 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | シリコンカーバイド | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 転位 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 結晶成長 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 電子線起電流 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
畑山, 智亮
× 畑山, 智亮 |
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| 書誌情報 |
発行日 2008 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 値 | 18560305 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R006383 | |||||
