WEKO3
アイテム
CWレーザー結晶化による低温単結晶SOI構造の形成と薄膜トランジスタ特性に関する研究
http://hdl.handle.net/10061/0002001235
http://hdl.handle.net/10061/000200123596dc89ea-7381-4046-960e-7f52061a15f7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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abstract (108.7 KB)
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| アイテムタイプ | 学位論文（博士論文） / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2025-10-09 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | CWレーザー結晶化による低温単結晶SOI構造の形成と薄膜トランジスタ特性に関する研究 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | CW レーザー ケッショウ カ ニ ヨル テイオン タンケッショウ SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 薄膜トランジスタ | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 結晶成長 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | レーザー結晶化 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 低温ポリシリコン薄膜 | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||
| その他のタイトル | Study on Formation of Low-Temperature Single-Crystal SOI Structure by CW Laser Crystallization and Thin Film Transistor Characteristics | |||||||||
| 著者 |
髙山, 智之
× 髙山, 智之
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| 書誌情報 |
発行日 2025-09-30 |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||
| 学位授与機関名 | ||||||||||
| 学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2025-09-30 | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第2200号 | |||||||||
| 電子化ID | ||||||||||
| 値 | R019790 | |||||||||
