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  1. 04 物質創成科学
  2. 01 学術雑誌論文

Thin and Scalable Hybrid Emission Filter via Plasma Etching for Low-Invasive Fluorescence Detection

http://hdl.handle.net/10061/0002000525
http://hdl.handle.net/10061/0002000525
143e9303-cab5-4848-aa63-95b030564dbe
アイテムタイプ 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2024-08-30
タイトル
タイトル Thin and Scalable Hybrid Emission Filter via Plasma Etching for Low-Invasive Fluorescence Detection
言語
言語 eng
キーワード
主題Scheme Other
主題 implantable device
キーワード
主題Scheme Other
主題 fluorescent imaging
キーワード
主題Scheme Other
主題 contact imaging
キーワード
主題Scheme Other
主題 image sensor
キーワード
主題Scheme Other
主題 emission filter
キーワード
主題Scheme Other
主題 optical filter fabrication
資源タイプ
資源タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 open access
著者 Rustami, Erus

× Rustami, Erus

en Rustami, Erus

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笹川, 清隆

× 笹川, 清隆

WEKO 158
e-Rad_Researcher 50392725

ja 笹川, 清隆

ja-Kana ササガワ, キヨタカ

en Sasagawa, Kiyotaka

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Sugie, Kenji

× Sugie, Kenji

en Sugie, Kenji

Search repository
Ohta, Yasumi

× Ohta, Yasumi

en Ohta, Yasumi

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Takehara, Hironari

× Takehara, Hironari

en Takehara, Hironari

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春田, 牧人

× 春田, 牧人

WEKO 121
e-Rad_Researcher 40733663

ja 春田, 牧人

ja-Kana ハルタ, マキト

en Haruta, Makito

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田代, 洋行

× 田代, 洋行

WEKO 188
e-Rad_Researcher 70380384

ja 田代, 洋行

ja-Kana タシロ, ヒロユキ

en Tashiro, Hiroyuki

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太田, 淳

× 太田, 淳

WEKO 147
e-Rad_Researcher 80304161

ja 太田, 淳

ja-Kana オオタ, ジュン

en Ohta, Jun

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Hybrid emission filters, comprising an interference filter and an absorption filter, exhibit high excitation light rejection performance and can act as lensless fluorescent devices. However, it has been challenging to produce them in large batches over a large area. In this study, we propose and demonstrate a method for transferring a Si substrate, on which the hybrid filter is deposited, onto an image sensor by attaching it to the sensor and removing the substrate via plasma etching. Through this method, we can transfer uniform filters onto fine micrometer-sized needle devices and millimeter-sized multisensor chips. Optical evaluation reveals that the hybrid filter emits light in the 500 to 560 nm range, close to the emission region of green fluorescent protein (GFP). Furthermore, by observing the fluorescence emission from the microbeads, a spatial resolution of 12.11 μm is calculated. In vitro experiments confirm that the fabricated device is able to discriminate GFP emission patterns from brain slices.
書誌情報 en : Sensors

巻 23, 号 7, 発行日 2023-04-03
出版者
出版者 MDPI
ISSN
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 1424-8220
出版者版DOI
関連タイプ isReplacedBy
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.3390/s23073695
出版者版URI
関連タイプ isReplacedBy
識別子タイプ URI
関連識別子 https://www.mdpi.com/1424-8220/23/7/3695
権利
権利情報Resource https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
権利情報 $00A9 2023 by the authors. Licensee MDPI, Basel, Switzerland. This article is an open access article distributed under the terms and conditions of the Creative Commons Attribution (CC BY) license (https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/).
著者版フラグ
出版タイプ NA
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Ver.1 2024-08-30 07:43:41.734691
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