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  1. 04 物質創成科学
  2. 03 修士論文

光電子ホログラフィーを用いたSi半導体の初期酸化原子配列および As、B共ドーパントの立体構造解析

http://hdl.handle.net/10061/0002000404
http://hdl.handle.net/10061/0002000404
0fc488ee-7af7-41b1-85c9-0bd0f2c7afd4
名前 / ファイル ライセンス アクション
R017917.pdf fulltext (4.8 MB)
アイテムタイプ 学位論文(修士論文) / Thesis or Dissertation_0(1)
公開日 2024-05-21
タイトル
タイトル 光電子ホログラフィーを用いたSi半導体の初期酸化原子配列および As、B共ドーパントの立体構造解析
タイトル
タイトル コウデンシ ホログラフィー オ モチイタ Si ハンドウタイ ノ ショキ サンカ ゲンシ ハイレツ オヨビ As B キョウドーパント ノ リッタイ コウゾウ カイセキ
言語
言語 jpn
キーワード
主題Scheme Other
主題 光電子ホログラフィー
キーワード
主題Scheme Other
主題 Si半導体
キーワード
主題Scheme Other
主題 初期酸化原子配列
キーワード
主題Scheme Other
主題 ドーパント
キーワード
主題Scheme Other
主題 ニューラルネットワーク
キーワード
主題Scheme Other
主題 高精度立体構造解析
資源タイプ
資源タイプ master thesis
アクセス権
アクセス権 open access
その他のタイトル
その他のタイトル Structural analysis of initial oxide atomic arrangement and As and B co-dopants in Si semiconductors using photoelectron holography.
著者 竹内, 走一郎

× 竹内, 走一郎

ja 竹内, 走一郎

ja-Kana タケウチ, ソウイチロウ

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書誌情報
発行日 2022-03-31
出版者
出版者 奈良先端科学技術大学院大学
学位名
学位名 修士(工学)
学位授与機関名
学位授与機関名 奈良先端科学技術大学院大学
学位授与年月日
学位授与年月日 2022-03-31
学位授与番号
学位授与番号 修第8961号
電子化ID
値 R017917
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Ver.1 2024-05-21 05:54:03.671714
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