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  1. 01 大学
  2. 08 科研費報告書

電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

http://hdl.handle.net/10061/3389
http://hdl.handle.net/10061/3389
ebffd8b3-78de-4a83-81a7-bb8eb90b02db
名前 / ファイル ライセンス アクション
R003658.pdf fulltext (12.1 MB)
アイテムタイプ 研究報告書 / Research Paper(1)
公開日 2006-07-31
タイトル
タイトル 電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製
タイトル
タイトル デンシセン イッカツ ロコウ ニヨル キョウユウデンタイ ナノ キャパシタ ノ サクセイ
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ research report
アクセス権
アクセス権 open access
著者 岡村, 総一郎

× 岡村, 総一郎

WEKO 767

ja 岡村, 総一郎

ja-Kana オカムラ, ソウイチロウ

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書誌情報
発行日 2005-05
出版者
出版者 奈良先端科学技術大学院大学
科研費番号
値 15560277
著者版フラグ
出版タイプ VoR
電子化ID
値 R003658
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Ver.1 2023-07-25 15:27:19.490908
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