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積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23年度実績報告書
http://hdl.handle.net/10061/9013
http://hdl.handle.net/10061/9013c95da36b-c7ee-4448-b398-8ec66521c52c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (26.8 kB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2013-09-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成 : 平成23年度実績報告書 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | セキソウ コウゾウ レーザー アニール ニ ヨル ヒショウシツ キバンジョウ タンケッショウ ゲルマニウム ハクマク ノ テイオン セイセイ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜トランジスタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ゲルマニウム | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | シリコン | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | レーザーアニール | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
堀田, 昌宏
× 堀田, 昌宏 |
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| 書誌情報 |
発行日 2012 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 値 | 23760284 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R010478 | |||||
