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原子層堆積法による酸化亜鉛薄膜の低温形成およびデバイス応用 : 平成24年度実績報告書
http://hdl.handle.net/10061/8947
http://hdl.handle.net/10061/894713533fb5-384f-4b07-a0d9-3857e8a3cd4c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (334.3 kB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2013-09-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 原子層堆積法による酸化亜鉛薄膜の低温形成およびデバイス応用 : 平成24年度実績報告書 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル サンカ アエン ハクマク ノ テイオン ケイセイ オヨビ デバイス オウヨウ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 酸化亜鉛 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜トランジスタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 原子層堆積法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ディスプレイ | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
川村, 悠実
× 川村, 悠実 |
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| 書誌情報 |
発行日 2013 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 値 | 11J08677 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R010252 | |||||
