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高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成23年度実績報告書
http://hdl.handle.net/10061/8326
http://hdl.handle.net/10061/83260ddc4fc4-34d8-4fe3-a700-1675cfdc8d6a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (333.6 kB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-09-11 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高品質シリコン薄膜の形成・新規評価技術の確立とそのディスプレイデバイスへの応用 : 平成23年度実績報告書 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | コウヒンシツ シリコン ハクマク ノ ケイセイ シンキ ヒョウカ ギジュツ ノ カクリツ ト ソノ ディスプレイ デバイスエノ オウヨウ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜トランジスタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 多結晶シリコン薄膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | レーザーアニール | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 電気的欠陥 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Bio-LBL法 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
町田, 絵美
× 町田, 絵美 |
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| 書誌情報 |
発行日 2012 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 値 | 10J08975 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
