@phdthesis{oai:naist.repo.nii.ac.jp:00011652, author = {山﨑, はるか}, month = {Mar}, school = {奈良先端科学技術大学院大学}, title = {ゲート絶縁膜中フッ素添加によるa-InGaZnO薄膜素子における高信頼性化機構の解析}, year = {2016}, yomi = {ヤマザキ, ハルカ} }