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無転位シリコンカーバイド結晶成長の研究 : 平成20年度-22年度研究成果報告書
http://hdl.handle.net/10061/6423
http://hdl.handle.net/10061/642355a40914-2d13-408d-b2c0-79c6699b6841
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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fulltext (348.7 kB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-10-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 無転位シリコンカーバイド結晶成長の研究 : 平成20年度-22年度研究成果報告書 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ムテンイ シリコン カーバイド ケッショウ セイチョウ ノ ケンキュウ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 炭化珪素 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | シリコンカーバイド | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 転位 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | エッチング | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 半導体 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 著者 |
畑山, 智亮
× 畑山, 智亮 |
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| 書誌情報 |
発行日 2011 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 値 | 20560301 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 電子化ID | ||||||
| 値 | R008686 | |||||
